探(tàn)針台 EG2001
圖(tú)片(piàn)材(cái)料(liào)：
概述：
EG2001是半導體6英寸及(jí)以(yǐ)下(xià)晶(jīng)片在(zài)片測(cè)試(shì)生(shēng)產的全自(zì)動探(tàn)針台，設(shè)計上(shàng)具(jù)有高精(jīng)度，模塊(kuài)化(huà)的(dí)特點，可以按照客(kè)戶(hù)的功(gōng)能要求進行組件的(dí)選(xuǎn)配。通過可選(xuǎn)組(zǔ)件(jiàn)的配置(zhì)可(kě)以(yǐ)實(shí)現(xiàn)自動上卸(xiè)片，晶片自動對(duì)準，自動測試，載片(piàn)台(CHUCK)溫(wēn)度(dù)控製，自動(dòng)分(fēn)選(xuǎn)等(děng)功能(néng)。
EG2001係(xì)列(liè)自動探(tàn)針台的核心是采(cǎi)用空氣(qì)靜(jìng)壓軸(zhóu)承(chéng)的Linear Reluctance Stepper Motor 磁阻(zǔ)式平(píng)麵步進電機。該結構具有氣(qì)浮(fú)軸承(chéng)長期連(lián)續(xù)使用無(wú)機(jī)械(xiè)磨(mó)損(sǔn)，控製係統完(wán)善，步進精度(dù)高，啟停迅速(sù)，噪(zào)音小(xiǎo)，維護(hù)方便等優(yōu)點(diǎn)。
