快(kuài)速(sù)退火爐
圖片材(cái)料：
概述：
AST2800是一款用高強度(dù)可見(jiàn)光加熱(rè)單(dān)片wafer或(huò)樣片(piàn)的(dí)快速(sù)退(tuì)火係統(tǒng)，其(qí)工藝時間短，控(kòng)溫精度高。工(gōng)藝穩定(dìng)時間可(kě)設置(zhì)到9999秒(miǎo)，一(yī)般推薦1-600秒(miǎo)。
相對(duì)於傳(chuán)統的爐管式(shì)退火係統(tǒng)，其獨特的水(shuǐ)冷腔體(tǐ)設計，先(xiān)進的溫(wēn)度(dù)控(kòng)製技術確保(bǎo)了(liǎo)優越的(dí)溫度(dù)均匀性。工藝時(shí)，wafer放(fàng)置在獨立的(dí)石英(yīng)腔體內的(dí)石(shí)英(yīng)載(zǎi)盤上(shàng)，通(tōng)機械手(shǒu)自動傳偏(piān)到指定位置，上下(xià)兩排燈(dēng)管(guǎn)對wafer進行(háng)加(jiā)熱。允(yǔn)許工(gōng)程(chéng)師自由創(chuàng)建，編輯(jí)工(gōng)藝(yì)菜單,通(tōng)過(guò)調(tiáo)整時間，溫(wēn)度，工(gōng)藝(yì)氣(qì)體(tǐ)流量等(děng)參(cān)數(shù)，控製工藝流(liú)程(chéng)。
快(kuài)速退火係統應(yīng)用:離(lí)子注入激(jī)活，多晶(jīng)矽(guī)退火，氧化回(huí)流(liú)，矽化(huà)物(wù)形成(chéng)，歐姆接觸(chù)合金(jīn)， 氧(yǎng)化物，氮(dàn)化物生(shēng)長等工藝。
